日期:2012-11-19 10:52
指标是氩气质量流量、轰击电压、轰击电流、轰击时间和传动速度等;为了满足镀膜工艺的要求，可以选择工件缓慢地通过轰击室，一边行进一边轰击;也可以选择工件停留在轰击室，轰击一段时间后再进入缓冲室，这就实现了对工件的高能离子清洗。
3.3镀膜过程的自动化控制系统设计
为了满足镀膜工艺的要求，镀膜过程中需要控制氩气质量流量、反应气体质量流量、各靶溅射电压、溅射电流和镀膜传动速度等指标。当工件行进至磁控靶前，靶电流由维持状态自动转至工作状态，对工件进行镀膜，直至工件离开该靶后，回复至维持状态，最大限度地节省靶材。