日期:2012-11-19 10:52
为有效地保护磁控靶及靶电源，系统设计了水压、真空度控制和过流、过热故障报警功能，以及靶电源电压、电流的缓升降功能。
3.4系统开关机的自动化控制设计
自动开机，是从扩散泵预热开始，真空抽气系统自动工作直至镀膜室真空度达到后，磁控靶自动启动，这一段过程的所有操作均由设备自动完成。
自动关机，是生产线镀膜工作完成后，自动关闭磁控靶，并逐步关闭真空抽气系统，这一段过程的所有操作均由设备自动完成。
4 算法控制
4.1反馈算法
在系统应用过程中，磁控电源的设定值与显示值总存在一定的误差，为使二者达到统一，我们