日期:2012-11-19 10:52
行模式一一 用于镀膜生产的自动监控模式和用于调试及检修的手动监控模式，两种运行模式可自由切换。
(2) 工艺方案选择：为了实现对多种工件的镀膜自动化，该监控系统设计了多种工艺方案供使用者选择，设备运行前选择要使用的方案，或自行设定新的方案，然后开始镀膜生产。
(3) 数据检测记录：为了方便用户监控工艺过程，分析研究工艺参数的作用，及时调整工艺参数以获得更好的镀膜效果，该监控系统：1)实时显示各磁控靶电源电压、电流、各真空计数值、气体流量等参数数值;2)定时记录设备运行情况，每30分钟记录一次，或按要求随时记录