应用于磁控溅射镀膜生产线的计算机监控系统的设计
日期:2012-11-19 10:52
、自动化进程控制、数据显示存储、参数设定、报表打印和数据处理等。在系统运行过程中,上位机一直和下位机实时通信,从而保证界面上显示的数据和实际数据相一致;操作人员在上位机上发出的操作命令和设定的参数也都可以实时的送到下位机上执行。由于配备触摸作为冗余操作设备,生产线可随时脱离计算机监控系统转换到触摸屏操作模式,而不影响生产,便于设备维护,增进了系统的可靠性。
3系统工艺流程的设计的控制过程实现
依据磁控溅射镀膜生产线的工艺要求,
镀膜生产控制可设计成四个分时动作过程。
第一个过程是真空获得,为保证镀
9/16 下一页 上一页 首页 尾页
返回 |  刷新 |  WAP首页 |  网页版  | 登录
07/15 21:11