用于在半导体芯片上电镀精细电路的改进的铜电镀浴
日期:2012-11-22 09:45

申请(专利)号:200480034544.4
申请日:2004.09.24
名称:用于在半导体芯片上电镀精细电路的改进的铜电镀浴
公开(公告)号:CN1882719
公开(公告)日:2006.12.20
主分类号:C25D3/38(2006.01)I
分类号:C25D3/38(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I
颁证日:优先权:2003.9.26US10/672,416
申请(专利权)人:洛克威尔科学许可有限公司
地址:美国加利福尼亚州
发明(设计)人:MD坦奇;JT怀特
国际申请:2004-09-24PCT/US2004/031398
国际公布:2005-04-07WO2005/031812英
进入国家日期:2006.05.22
专利代理机构:上海专利商标事
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