日期:2012-11-23 14:25
申请(专利)号：200580016803.5
名称：用于电镀浴化学剂控制的方法
公开(公告)号：CN1957115
公开(公告)日：2007.05.02
主分类号：C25D21/12(2006.01)I
分类号：C25D21/12(2006.01)I;C25D21/18(2006.01)I
申请(专利权)人：应用材料公司
地址：美国加利福尼亚州
发明(设计)人：阿隆罗森费尔德;霍曼哈非兹;志文孙;迈克尔扬;约瑟夫本克
专利代理机构：北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人：赵飞
摘要通过将电镀浴溶液提供到构造为最小化添加剂分解的小容积电镀单元丙在预定浴寿命之后废弃电镀浴，提供了一种用于控制电镀