用于电镀浴化学剂控制的方法
日期:2012-11-23 14:25
浴溶液的化学成分的方法，该电镀浴溶液用于电镀多个衬底。该方法包括确定具有所期望的化学成分的电镀浴溶液的寿命，用电镀浴溶液填充小容积电镀单元，在电镀浴溶液中电镀多个衬底直到达到寿命，并在达到寿命之后废弃电镀浴溶液。

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