日期:2012-11-28 09:37
A为主，易溶于水，所以曝光后可以用水冲去或用湿的脱脂棉擦去未曝光部位而显影，并使要蚀刻部分的金属裸露出来。为了便于检查图案花纹的曝光质量，可以用8～109/L的甲基紫溶液进行染色处理。
4.固膜及修膜
将显影出的图纹浸入5%～7%的Cr03溶液，当显现浅棕色时，用水冲洗，然后在160～180℃下烘1h，可以提高防护掩膜的强度。用酯胶耐酸漆(T502)、醇酸漆稀释剂X一6修整图形上的针孔及缺损部位。最后用硝基漆将非蚀刻部分涂覆加以保护。
(四)化学蚀刻
化学蚀刻在以三氯化铁为主的蚀刻溶液中进行，可根据型腔的金属材料选择不同的蚀刻溶液