日期:2012-11-28 10:44
于铜导线，阻障层横截面积占整个导线横截面积的比例变得越来越大。但是，实际上只有铜才是真正的电流导体。例如，65nm工艺时，铜导线的宽度和高度分别为~900A和1500A，两恻则分别为100A。这意味着横截面为13500 nm2的导线中实际上只有8400 nm2可用于导电。它严重影响了导线的有效阻值。Novellus Systems整合与先进技术研发部CTO兼执行副总裁Wilbert van den Hoek说。 解决办法是采用更薄的铜阻障层，其中最好的方法是采用ALD技术沉积阻障层。有关这项技术的研究工作已经开展了好几年，而且最近开始出现商品化设备。Lee说：我们的研