日期:2012-12-04 08:58
线圈线路，线路铜达到21.53m以上，由于电镀过程镀液在铜箔各区域的浓度不均匀导致线路产生轻微的线宽差距，基本能满足50m范围波动;同时在设计照相底片的过程中，精细线路部分的图形会作出加宽补偿，防止线路出现过蚀刻现象，因此可以观察到线路和线宽不完全满足50m，甚至出现线宽大于线路的情形。
分别采用HCl-CuCl2和H2SO4-H2O2微蚀液蚀刻后，形成精细线路效果比较如图4、图5所示。结果表明，HCl-CuCl2溶液的蚀刻速率太快，操作中工艺控制困难，同时剧烈的蚀刻造成严重的过蚀刻(蚀刻因子大)，线路厚度方向出现底宽顶宽，线路外形