日期:2013-01-09 10:15
频电源用于溅射刻蚀工作站。电流密度可以达到约10mA/cm^2。在钢带处理的特殊情况下，需要考虑磁场为对带材运行的影响和钢带附近的磁 场的屏蔽。稳定的钢带通过量利用辊子对带的引导来获得。通过利用由稀土磁体组成的磁场系统，可以在厚度为0.9的钢带表面保持稳定的磁控放电。可以观察到 对钢带的刻蚀率达到15～20nm/s。
电弧增强辉光放电刻蚀
这个模块的设计原理和溅射刻蚀模块的设计原理相似(图8b)。取代在基底背面的磁控系统的是与空心阳极底部结合的电弧蒸发器，电板蒸发器利用挡板与基底隔 开。在基底附近的附加电极收集来自挡板