日期:2013-01-09 10:15
果没有PVD镀膜前的等离子体清洗 的话，铁锌间的相互扩散就会受到带表面的薄而致密的氧化层的强烈影响，尽管仍然进行热退火处理，但已经形成了分隔的膜层。在镀膜工艺前用中频电源进行等离 子体清洗且除此之外一切 条件和上面相同的条件下，将会发现有非常不同的情形。氧化层几乎完全去除，同时通过铁扩散到热浸锌膜层从而形成一层合金膜。
用于改善腐蚀性质的镁涂层的喷射蒸发技术
喷射蒸发技术是 一种PVD工艺，尤其适应于蒸发低熔点金属如锌或镁等，同时具有很高的沉积率(达到约10UM/S)。在试验型生产线上实现了设备原理如图8所示。