日期:2013-01-09 10:15
坩埚由高纯石墨组成，除了利用一个在顶盖上的小喷嘴与分隔的基底室相连外，其余是全部密封的。除了坩埚外，石墨室也能够被加热，并提供约95%的蒸汽利用 率。碳纤维化合物 的大面积加热器覆盖着坩埚和基底室，并且可以分别单独控制以确保温度曲线合乎理想。坩埚容量是按用于4吨卷材计算的。考虑到该试验型生产线的基本研究使 用，因此没有安装连续蒸发材料进给装置。加热系统是完全由温度控制和 稳定的。从而在加热以后的整个工艺时间内得到恒定的镀膜条件。由于经过优化的喷嘴几何结构设计，使得整个的带截面上的膜厚均匀小于等于(正