日期:2013-01-09 10:25
蒸发。
普通光学镀膜和其它高档镀膜前处理往往采用考夫曼或阳极层离子源。但由于金属薄板带钢大面积高速电子束镀膜的宽度和工件运行速度要求而用不上。
大功率电子枪在高速下沉积的膜微观结构呈柱簇转，十分疏松，抗腐蚀性极差。自有采用等离子激活蒸发才能使镀膜致密，结合力好。目前等离子激活蒸发技术进展不错。已经有以下三项技术：
1、无束斑弧流激活沉积(Spotless arc Activiated Deposition，SAD)：大功率电子枪配有特殊的真空弧流装置。膜料蒸发最热点在束流的阴极起点。对于金属材料，特别是高熔点金属，阴极起点是一 团而不