日期:2013-01-09 10:25
不像传统弧流集中在1平方毫米的一点内。由于束流来自蒸发材料最热处，因而随电子束偏转。不用其它辅助装置就实现了大面积等离子激活蒸发镀膜。当等离 子束流达几千安培时，就可以以微米/秒的速度沉积钛。
2、棒阴极激活沉积(Rod cathode Activiated Deposition，RAD)：当某些金属和合金在蒸发状态不能生成团雾时，可用棒阴极激活。团雾起点在高熔点金属阴极，如钨棒端点点起。钨棒不会在蒸 发材料雾化温度溶化。电子束周期性的加热坩埚内的材料和阴极棒端点。弧流的阳极由坩埚构成。蒸发材料等离子活化实际上产生在阳极部分。这一方法