日期:2013-01-14 10:11
，即电阻率低，则外加的信号电压就会有相当大的一部分降落在接触电阻上，造成不必要的电压降和功率损耗，所以要想获得低阻的欧姆接触，膜层的电阻率应尽量小，电导率应尽量高。
Al膜的电阻率与Al块材的非常接近。电阻率随结晶粒径的减小而增加。由于电子束蒸发Al膜的结晶粒径明显小于溅射，所以溅射的电阻率小于电子束蒸发，其电导率较高。
2.5折射率
折射率一般可以反映薄膜的致密程度，随致密程度的增加而增加，而我们所制备的电极引线Al膜要求致密性好，这就可能通过测试折射率的大小来定性地判断Al膜的致密性。而折射率可以通过反射