日期:2013-01-14 10:11
2}1/2 (8)
式中 RM-----------反射率
n0------------空气的反射率
NM---------------Al膜的折射率
n2-----------Si片的折射率(约为3.5)
只要准确测出垂直入射的反射率RM就可以求出Al膜的反射率NM。通过日本岛津生产的UV3101型分光光度计测得的在不同波长范围内的反射率可知，在可见光400760nm范围内，Al膜的反射率11#样品为RM=0.82，8#样品为RM=0.83，通过(7)、(8)式计算，得出Al薄膜的反射率NM：8#样品为NM=0.702, 11#样品为NM=0.688。虽然，溅射Al膜的折射率大于电子束蒸发的Al膜，溅射Al膜的致密性比电子束蒸发好。
3 结论
电子