电子束蒸发与磁控溅射镀铝的性能分析研究
日期:2013-01-14 10:11
于实现自动化。在高度复杂的元器件制造工艺中，为提高可靠性和重复性，应尽量减少人工操作，提高自动化操作水闰。采用电子束蒸发，行星回旋式支架上只能一个一个地装卡Si片，而且只能采取单批式蒸镀。因此，难于实现自动化操作。

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