电子束蒸发与磁控溅射镀铝的性能分析研究
日期:2013-01-14 10:11
于实现自动化。在高度复杂的元器件制造工艺中,为提高可靠性和重复性,应尽量减少人工操作,提高自动化操作水闰。采用电子束蒸发,行星回旋式支架上只能一个一个地装卡Si片,而且只能采取单批式蒸镀。因此,难于实现自动化操作。
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