日期:2013-01-14 10:11
油扩散泵返油而产生污染真空室的现象;用离子规来测量真空度。坩埚选用石墨坩埚，避免了坩埚与Al反应生成化合物而污染Al膜，坩埚的位置处在行星架的球心位置，从而保证成膜厚度的均匀性。蒸镀过程中膜厚的测量选用石英晶体膜厚监控仪。电子束蒸发镀Al的典型工艺参数为：真空度：2.6 10-4Pa;蒸发速率：2025 A/s;基片温度：120C;蒸距：45cm;蒸发时间：25min;电子枪电压：9Kv;电子枪电流：0.2A。
1.2溅射设备及优化工艺参数
选用ILC-1012MARK Ⅱ 1012溅射装置;操作简单，并能保证产品质量的均一性。此溅射台主要由片盒卸室SL，片盒交换室T