日期:2013-01-14 10:11
，不能真正反映薄膜的附着性能。当所加剥离力与薄膜垂直，即=0时，则式简化为
F= b (4)
根据测量所得的F便可计算出附着能=F/b。如果要直接计算单位长度的附着力f，根据定义并采用上述方法(=0)进行剥离可得f=。可见，附着力的大小和附着能的数据相同，由于Al膜的附着能较高，所以其附着力较大。实验测得的数据是：溅射Al膜的平均附着力25N，电子束蒸发Al膜的平均附着力为9.8N。这些数据和理论分析结论一致。
2.3致密性
考虑Al膜的致密性就相当于考虑Al膜的晶粒的大小，密度以及能达到均匀化的程度，因为它也直接影响Al膜的其它性能，进