日期:2013-01-25 09:30
为1010-6~10010-6)的化合物，单独考察每种微量添加剂对化学镀铜速率及镀液稳定性的影响，期望找到既可以稳定镀液又可以提高沉积速率的微量添加剂，部分测试结果如下：
上述微量添加剂中，大部分具有增加镀液稳定性的作用，但同时会降低化学镀铜的沉积速率;部分微量添加剂可以提高镀速但同时降低镀液的稳定性;但也发现有一些特殊的微量添加剂，既能稳定镀液，又能对化学镀铜沉积速率有正面促进作用，我们认为这类既能稳定镀液又能提高镀速的微量添加剂比较适合于中速化学镀铜体系。表1为部分微量添加剂对镀液稳定性和沉积速率的定