日期:2013-03-12 09:52
金属1的密度,n为金属离子的价数,F为法拉第常数,k为阴极过电位,K1和K2为常数。
由以上公式可以看出,阴极过电位k与形核半径rC和自由能G成反比,与形核几率W成正比。过电位愈大,则形核半径和形核所消耗的能量愈小,增大形核几率,则沉积过程中晶核的生成速度大于成长速度,可使沉积层微观晶粒细小致密。
实验方法如所示,阳极为Ni(80%)Fe(20%)合金靶,阴极为蒸发(Cu/Cr)种子层的单晶硅片,采用电子恒温水浴加热系统,机械式搅拌,过滤装置为蠕动式机械泵,其优点是镀液循环不经过泵体,因此没有污染问题,电源采用自行研制的脉冲可调