日期:2013-03-21 08:54
谷城， 张伟风， 王珊
(河南大学物理与电子学院，河南开封475004)
摘要：电镀金工艺在当今半导体微纳加工领域中的应用越来越广泛，然而，传统的电镀金工艺存在许多弊端。试图从理论分析入手，寻找一种较好的脉冲电镀金工艺。重点分析了镀层厚度和金微粒大小，并通过实验对理论分析结果进行验证。实验结果表明：理论分析结果可以较好地被验证，对具体工艺有指导意义。
关键词： 脉冲电镀;理论分析;实验验证
中图分类号：TQ 153 文献标识码：A 文章编号：1000-4742(2012)03-0019-03
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目前在工业领域中应用的电镀金工