日期:2013-04-07 15:00
0含量有所上升，膜的组成基本不变，为c0Ni。Fe拍，其结构组成是面心立方晶系和体心立方晶系(fccbcc)的混合相。
在不同占空比时，脉冲电沉积薄膜的XRD图谱，见图4914，由图可看出：膜组成仍保持不变为c0。3Ni。，Fe26，其相对峰强度bcc(110)和fcc(111)，随工艺条件变化而变化，当2p在54。至60。范围内，bcc(110)和fcc(111)两峰部分重叠和bcc(110)和fcc(111)优先取向比较明显。
图4913平均电流密度对膜组成的影响(方块，菱形和黑圈分别表示c0一，Fe一，Ni一的含量、占空比=0．3一I．O，i。=-40mA／cm2一-40mA／cm2)
脉冲电沉积C0NiFe