日期:2013-04-08 14:23
加上磷和硼的合金的沉积。这个工业上十分重要的技术,对弹性电路的制造来说,有许多令人满意的特点:
①AD技术产生的膜均匀;
②因为表面催化(活化),AD涂敷绝缘体;
③采用催化表面的紫外线制图,AD复制出具有高分辨率的m尺寸的图案。
更详细一点的,读者应查询文献[4~6],化学镀的准备步骤在下面第14.4部分中进行了详细讨论。
(4)等离子诱导的沉积。使用这项技术,一薄层甲酸铜或氯化铜被沉积在基体上(聚合绝缘基体包括聚苯乙烯、龙脑香和相似材料都可以用这些方法处理[7,8])接着,这个前驱体层在氢RF等离子体中被还原为金属铜,