日期:2013-04-08 14:23
还原过程是在较低基体温度下进行的。热敏塑料可以用这种方法实现金属化。接着是退火。总之，当大面积需要被一层金属膜覆盖时，用这项技术是恰当的。一旦沉积完成，随后总是要化学镀另外一层金属膜。
(5)溅镀。塑料样品在上膜前需要适当的预处理以避免表面污染，这些污染物可能造成不理想的特征，如附着力差。膜是根据高能溅镀原理沉积的。对于沉积TiN(这是一个重要的扩散阻挡材料)，目标Ti在氮气反应气体和氩惰性气体中溅镀。膜的厚度与镀膜时间有关，一般来说，达到200nm需要大约5min，10倍的厚度需要大约1h。关于这种方法更详细的资料，