日期:2013-04-09 15:12
见反应式(171)和式(177)]，因而直接影响这些反应(pH值的主要影响)；第二，pH值的影响与金属溶液界面的结构和组成有关[14]，其中包括：①吸附；②双层结构；③溶液中铜试样的结构；④溶液的离子浓度。它们间接影响(pH值的次要影响)化学镀铜的沉积速度。
pH值的主要影响可以通过0H-的反应级数以及速度与pH值的曲线来表示，实验测得的速度pH值曲线表明，随着pH值的升高，沉积速度随之加快，达到一个最大值后开始下降。图l75是化学镀铜沉积速度与pH值关系的一个例子，从图17-5中可以看出，在特定情况(EDTP溶液)下，pH值为l2．5时的沉积速度最