日期:2013-04-09 15:12
大。开始时沉积速度增加是由pH值的主影响所致，高pH值下速度达到最大后下降，是由于pH值的次影响。酒石酸盐镀液在pH值为l2．8时沉积速度最大[9]，可以认为存在两种次影响：①亚甲基二醇相对浓度的变化，以及由于亚甲基二醇的离解[20]产生0H-改变pH值；②甲醛氧化引起的传质系数变化，从而改变pH值[l5]。
图175化学镀铜沉积速度与pH值的关系。化学镀铜液含0．05mol／LCuS04、0．15mol／LEDTP、0．07mol／L多聚甲醛，用NaOH调节pH值，溶液中通人氩气去氧(FromDullyetal．[14]．withpermissionfromtheElectrochemicalSociety)
Paunovic