日期:2013-04-09 15:12
[l5]用数学模型描述了pH值的影响,从该模型可以推断,高pH值处速度达到最大后下降是由于pH值受动力学参数aRed(还原剂氧化的传质系数,第1章A部分)和i0Red(还原剂氧化的交换电流密度,第l章A部分)所引起的,正如以前提出的亚甲基二醇的离解在化学镀铜的沉积中是一个重要因素,但不能充分解释pH值的影响。
4催化
Haruyama、Ohno[30]和Wiese、WeilI[31]研究了化学沉积铜的催化现象,Haruyama和Ohn0研究表明,化学沉积中金属对还原剂氧化的催化活性主要由两个反应的速度常数决定,即阴离子团的氧化吸附及脱附(见第l章A部分l.2节)。Wiese和W