日期:2013-04-09 15:22
脆性铜的延展率恢复到了韧性铜的延展率，从溶液A中获得的脆性膜层的含H2量为l00～200mg／L。
表17-1化学镀铜层的性能：有机玻璃基体aN／cm3，N=气泡数量。
2室温储存期间延展率的恢复
化学镀铜层的延展率(伸长百分数)通常会在低温(100～200℃)热处理过程中提高，提出的两种机理解释了延展率恢复过程。
根据Nakahara等人[48]提出的第l种机理，认为延展率的改善是由于H2从铜晶格向外扩散，化学镀铜沉积过程中，氢能够以原子(H)和分子(H2)的形式共沉积，大多数以分子的形式共沉积，在室温或低温(100～200℃)下热处理，分子H2从铜中向