日期:2013-04-09 15:22
novic和Zeblisjy[39]研究表明，从含NaCN的EDTA型化学镀铜液中获得的25m厚无裂纹铜层的伸长率(延展率)为3％～11％，该铜镀层的抗拉强度为200～600MPa(30000～87000psi)，可以细分为两小类：一类具有高抗拉强度，另一类具有高伸长率。所研究的无裂纹化学镀铜层中，平行于基体的粒子直径为0．1～1m，垂直于基体的粒子尺寸为4～10m。
4电阻率
Patterson等人测定了氮化钛上化学沉积500nm铜层的电阻率，使用不同的溶液，其电阻率为2．0～2．7cm[56]；Lopatin等人[59]报道，随着化学镀液温度的升高，镀层的电阻率降低(如图l7-9所示)；Dubin等人