日期:2013-04-09 15:22
跟电子移动同方向的物质(正离子)传递(如图l710所示)。这种物质传递称之为电迁移，它发生在集成电路的互连导线(细金属丝)中，该处的电流密度很高[65,66]。例如，当0．2m厚、l．0m宽的铝(或铜)线承受1mA的电流(D，电流密度(i)为5105A／cm2(线的横截面积A=0．21041X104=O．2108cm2，电流密度i=1／A=1l0-3A／0．2X10-8cm2=5X105A／cm2)，因此微电子元件中电子的传递(电流)可以导致金属晶格中金属离子的传递。
在高电流密度(104A／cm2)下，足够的电子动量转移到金属晶格中的金属离子，使它们移向阳极，从而产生物质传递(如图l710所示)。这种物