日期:2013-04-11 15:09
的单独仪器或是接到在线监控电镀系统上。可使用的方法包括p背散射、X射线荧光、涡电流、磁场测量。表254列出了这些方法可测试的沉积金属。
表25-4镀层厚度无损检测方法
28．1p背散射
一些同位素的放射性衰变能产生p射线，J3射线是快速移动的电子。当射线对着电沉积层时，一些电子减速，并改变运动方向，向着沉积层相反的方向运动。背散射电子的数量与单位面积上的原子数目有关，也与原子总数有关。背散射电子的数量是用盖革-穆勒(GeigerMuller)管计数器来测量的。选用的同位素是基于它的最大p射线能量和半衰期。随着镀层厚度的增加