日期:2013-04-12 15:13
，提高沉积速度将导致槽液稳定性下降，除非是通过提高槽液的搅拌速度或基体的移动速度，在传质极限条件下来提高沉积速度。加入21．3．1节中提到的稳定剂可以控制槽液的活性，从而提高槽液的稳定性。另外，应该认识到，进入槽液的某些杂质可能会导致槽液不稳定。在21．1节中已经论及硼氢化物槽和DMAB槽对Ni2+、C02+、Fe2+杂质极为敏感，而Cu2+没有什么影响。图215示出了对比了Ni2-和Cu2+对沉积速度的影响，不含杂质时的沉积速度与含不同Cu2+浓度的速度一样，具有恒定的沉积速度；槽液中仅含l0-5mol／L的Ni2+就会使沉积速度下降，Ni2+浓度达