日期:2013-05-27 14:54
发明专利申请
申请公布号CN102618838A_(43)申请公布日2012.08.01
申请号201210066708.8
申请日2012.03.14
申请人昆山振昆纳米科技有限公司
地址215301江苏省苏州市昆山开发区吴淞江路西侧、同丰路南侧
发明人阮佳龙康进昌罗讷纳唐新荣
专利代理机构南京纵横知识产权代理有限公司32224
代理人董建林
(51)Int.CI.
C23C14/56(2006.01)
C23C14/24(2006.01)
权利要求书1页说明书3页附图2页
(54)发明名称
真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳
(57)摘要
本发明涉及的是一种真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其包括金属罩体，金属