真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳
日期:2013-05-27 14:54
空的时间,通过减少了镀膜设备外壁安装厚度,加强了冷却外壳的强度;其结构简单、安全可靠和冷却效果好的优点。
[0015]以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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