日期:2013-05-27 14:54
罩体上设有复数个排列有序,并且内凹的加强圆槽,所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形;在加强圆槽底部设有用连接现有真空镀膜机的待冷却外壁的安装孔,金属罩体通过安装孔并以焊接方式固定在现有真空镀膜机的待冷却外壁上,在金属罩体与待冷却外壁之间通过加强圆槽构成循环通道。本发明确保了冷却水的流通,避免死角现象的产生,有效地对镀膜腔进行快速降温,降低油扩散泵的温度,解决了降温效果不理想的问题,缩短了抽真空的时间,通过减少了镀膜设备外壁安装厚度,加强了冷却外壳的强度;其结构简单、安全可靠和冷却效果好的优点。
1.真空镀