日期:2013-05-27 14:54
为2-5_。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其特征在于，所述加强圆槽的最大直径为24-136mm。
真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳
技术领域
[0001]本发明涉及的是一种真空镀膜机的冷却系统，具体涉及的是一种真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳结构。
背景技术
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，其已经被广泛应用，制镀薄膜尤其广泛，其制作的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中，如数码相机、望远镜、显示技术、半导体激光、微机电系统、各种滤光片、建筑玻璃、汽车工业、眼镜片