日期:2013-05-27 14:54
方式均是将冷却水流入真空镀膜设备冷却系统的冷却外壳，现有的冷却外壳与真空镀膜设备之间通过隔板固定安装真空镀膜设备外壁上，通过隔板作用使真空镀膜设备外壁与冷却外壳之间形成若干水通道，该冷却水从底部进入冷却外壳内的水通道，然后从上端流出，以便来实现真空镀膜的冷却作用。而这种结构安装的冷却外壳，其强度要求高，且与真空镀膜设备外壁之间的间距大，增加了真空镀膜设备外壁厚度，工艺复杂，而且冷却外壳通过隔板固定在真空镀膜设备外壁，其强度低，使用寿命短，并且在冷却过程中，处于外壳底端的水通道内存在冷却水死角的现