日期:2013-05-27 14:54
冷却外壳，其特征在于，所述加强圆槽的最大直径为24_136mm。
[0008]本发明通过设置有加强圆槽，并通过加强圆槽构成冷却水流通的循环通道，确保了冷却水的流通，避免死角现象的产生，有效地对镀膜腔进行快速降温，降低油扩散泵的温度，解决了降温效果不理想的问题，缩短了抽真空的时间，通过减少了镀膜设备外壁安装厚度，加强了冷却外壳的强度;其结构简单、安全可靠和冷却效果好的优点。
附图说明
[0009]下面结合附图和具体实施方式来详细说明本发明;
图1为本发明的结构示意图;
图2为图1的A-A剖视的局部图;
图3为本发明的一实施例。