日期:2013-06-04 14:48
极的技术效杲得到加强或提高。
对于阴极的结构，这里已经证明使用磁控管阴极是有利的，该磁控管阴极将磁场阵列陈列在把后_在圆柱形靶的情况下，处于圆柱形管体的核心-从而在靶表面前形成并且稳定等离子。
该磁体组件优选的是可绕阴极的纵向轴线转动或回旋(即在圆柱管形:n的靶的情况下围绕圆柱的纵向轴)，这样，磁体或磁体组件能够被调整或被设置成朝向基片。通过以这一方式转动或旋转磁体或磁体组件，位于靶表面上的p射区域叉替地朝向基片的方向;在正确设置的情况下，这一'布置可实现在基片上均匀镀膜沉积，既均勾厚度地镀膜。
特别是