日期:2013-06-04 14:48
在一个位置附近振荡或振动(摇摆)的情况下，还;可以以不同的方法限定或设置磁体或磁体组件移动的速度，这样，在例如磁体或磁体组件在零位置附近来回移动的过程中，绝对速度根据位置而不同。例如，可以在换向点处选择低速，而在换向点之间选择高速。
根据有益的实施例，在临近靶端面的位置，在朝向远离镀膜区域的阴极的'一侧对另外的磁体组件或磁体设置圆柱形管状把或多个阴极是有利o的，以使得等离子可在乾表面前的这一区域形成。这一方法可避免在靶上形成再沉积。
除了提供具有带有适合的磁体或磁体组件的可转动的曲形靶的阴极组件以积极