日期:2013-06-04 14:48
极地影响沉积过程外，还可以通过定位阴极组件，并且特别是通过将阴极组件定位在一个围绕镀膜区域的曲形表面上，以改进;和加强在大面积镀膜区域上进行厚度一致的镀膜的均勾沉积，该阴极组件在镀膜区域中并排地设置以确保在到镀膜区域(也就是距离基片)的不同距离的单一的、一致的大面积镀膜区域。
在本文中，已经证明将该曲形表面设置成一圆柱形表面是有利的，这样，在对截面图进行观察时，阴极基本分布在环形的轨道上，优选的是彼0此间等距离且它们的纵向的轴相互平行。
在另一个有益的实施例中，阴极组件可以是这样布置的：在阴极序列的