日期:2013-06-04 14:48
边缘的两个阴极向内进一步朝向基片移动，和/或被推动直到更接近临近的阴极。这样设置可对镀膜的均勾沉积产生积极的影响，特别是对于镀膜区域的边缘区域。s该环形轨道的半径，即阴极所定位的圆柱形的侧面的半径，优选为比
阴极和基片或镀膜区域之间的距离大很多，从而该阴极沿其定位的表面仅为轻微弯曲。
在带有位于环形轨道或圆柱形侧面的阴极的情况下，如果磁控管阴极的磁体或磁体组件径向地指向镀膜区域，也就是说，优选穿过全部阴极的磁体装置的中心垂直线指向阴极所定位的圆环或圆柱体的中心，则特别有利;仍然可以想到的是，磁体或磁