日期:2013-06-04 14:48
体组件可在位置附近旋转或振动。
特别地,尽管镀膜机或阴极组件或阴极的结构容许大面积的静态镀膜(即不必移动基片)，但是对于由传送装置移动的基片当然也是可以的。;在此实施例中大面积镀膜的优点也能够得到开发利用。
镀膜区域本身通常是平面的，但是它也可以是弯曲的。在后面的实施例中，只需要恰当调整阴极组件的位置，从而保持镀膜区域的位置和阴极位置之间的相对关系。
带有圆柱形管的把的可转动的磁控管优选地安装在一端面的一端上，I-)特别是安装在一个可移动的架上，从而方便将其插入和从镀膜室中将其拆除。