日期:2013-06-04 14:48
在镀膜过程中转动且具有曲形表面，该待溅射的材料特别位于圆柱的侧表面上，其特征在于：至少3个、优选更多的带有多个可转动的、弯曲的靶(4)的阴极纽件(2)被并排地设置在用于连贯的镀膜区域的单一的镀膜室中。
2.如权利要求1所述的镀膜机，其特征在于：带有多个可转动的、
10弯曲的靶(4)的多个阴极组件被支撑在一端面区域中的一端。
3.如权利要求1或2所述的镀膜机，其特征在于：该带有多个可转动的、弯曲的靶的多个阴极组件(2)为磁控管。
4.如权利要求3所述的镀膜机，其特征在于：该磁控管阴极具有多个磁体(3)或磁体组件;该磁体(3)或磁