日期:2013-06-04 14:48
体组件可转动或旋转,特别是
15绕阴极的纵向轴转动或旋转。
5.如权利要求3所述的镀膜机,其特征在于:所述多个磁体组件的磁体(3),尤其是在边缘区域的多个磁体(3)可被旋转或移动,以增大磁场面积(6)。
6.如以上权利要求之一所述的镀膜机,其特征在于:多个的阴极组件被布置在到基片不同距离的位置上,其中所述基片需定位于镀膜区域中,所述多个组件特别地沿绕镀膜区域弯曲的一表面布置。
7.如以上权利要求之一所述的镀膜机,其特征在于:多个阴极组件设置的方式为这些阴极组件彼此相隔地设置,且它们的纵向轴彼此平行,这些阴极组件被