日期:2013-06-04 14:48
特别地等间距地定位,优选只有外侧的阴极组件被布置得
25与其邻近的阴极更加靠近。
8.如权利要求6或7所述的镀膜机，其特征在于：所述多个阴极组件被布置在一圆柱体的侧面上，从阴极组件观察，该圆柱的纵向轴位于镀膜区域之内或者之后，优选的是，只有两个外侧的阴极组件从朝向镀膜区域的侧面转移。
9.如权利要求8所述的镀膜机，其特征在于：圆柱的半径比镀膜区域和阴极组件之间的距离大。
10.如权利要求3至9之一所述的镀膜机，其特征在于：该阴极组件的磁体或磁体组件特别径向地朝向镀膜区域定位，该磁体或磁体组件特别
如权利要求3所