日期:2013-06-04 14:48
磁控管阴极或磁控管，同样可达到改善镀层的目的，依靠上述磁控管阴极或磁控管，溅射靶后面的磁体组件可使在靶前形成等离子更容易，同时使等离子更加稳定和均匀。使用所述的旋转磁电管也是■特别为人们所公知的，其中磁体或磁体组件被同心地设置在圆柱形管状靶的内部。这种可移动的磁控管用于例如为建筑玻璃镀膜的连续运行的串联p(in-line)的镀膜机。本领域的实际应用通常在镀膜工作室内并排设置两个这样的磁控管。这种布置的缺点是仅有一小块镀膜区域能够获得具有恒定镀膜厚度的均勾镀膜。这就，对面积较大的表面来说，即面积较大的;基片