带有可转动的磁控管的大面积组件的镀膜机
日期:2013-06-04 14:48
,就必须移动需被镀膜的基片。
发明内容
本发明的目的在于提供一种镀膜机,且特别是一种阴极组件,通过使用该阴极组件可以对较大面积的基片均勾镀膜,并且特别是在镀膜过程中,可使多余喷涂形成的材料损耗较低。另外,该镀膜机还易于装设立和操作。
这一目的可依靠具有如权利要求1所述的技术特征的镀膜机实现。而多个有益的具体实施例形成了从属权利要求的主题。
本发明第一次解决了能够为大面积镀膜区域提供均一厚度的均匀镀膜而不必大量消耗镀膜材料的问题。也就是说,本发明可在不移动基片的情况下对大面积基片进行静态地镀膜。令人
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